2.电容耦合等离子体(CCP)等离子体是一种孤立的中性气体，高能束表面改性各自优点自由电子与中性分子、原子碰撞，碰撞电离后，得到更多的电子和离子。根据电子的能量可以得到更丰富的离子，激发态高能中性粒子等，由于电子吸附在中性气体的外观上，也可以得到负离子。由于每种气体在原子分子物理中都有自己的能级结构
