励磁频率的分类有三种常用的等离子体功率激发频率。激发频率为40kHz的等离子体为超声波等离子体，uv三防漆附着力差产生的反应为物理反应，清洗系统的离子密度低。 13.56MHz等离子体属于高频等离子体，等离子体反应既有物理反应也有化学反应，离子密度高，能量高。 2.45GHz等离子体是离子浓度最高的
