等离子体蚀刻机气体接触到电子区域就会形成等离子体，等离子体发生器为什么要加入空气所产生的离子化气体和释放出的高能电子构成气体等离子体。被离子化的气体原子的动能比较小，除非它们通过电场加速。当加速时，它们释放出足够的力，与表面驱动力紧密结合在一起，粘附材料或蚀刻表面。等离子体效应转化为材料蚀刻加工过程
