所谓非物质化，plasma等离子处理 浸润性是指减少制造过程中使用的材料和能源，简化制造和加工过程。微电子元件的制造是等离子体表面处理的非关键方面的一个例子。采用非平衡低温等离子化学技术对工业废物进行无害化处理，是等离子表面处理技术环境治理的又一指标。低碳工艺也是等离子表面处理技术的优势之一。 ，而
