低温等离子体产生方法辉光放电电晕放电介质阻挡放电射频放电滑动电弧放电射流放电大气辉光放电亚大气辉光放电辉光放电是一种低压放电，pes热熔胶膜附着力其工作压力一般小于10mbar。它的结构是在一个封闭的容器中放置两个平行的电极，并用电子激发中性原子和分子。当一个粒子从激发态降到基态时，它会以光的形式释
