固（固）液（液）气（GAS）等离子{PLASMA} 2.等离子工艺应用：1）表面清洗 2）表面活化 3）蚀刻 4）等离子接枝、聚合 5.等离子应用领域：电路板PCB/FPC半导体刻蚀、封装活化 LED清洗、封装活化 汽车电子 太阳能纺织印染 生物医药印刷 触摸屏、玻璃清洗 环保 废气处理 6.等离子
