氧等离子体刻蚀机产生的高能粒子冲击纺织棉纤维代替常规湿法工艺；在等离子体刻蚀机中，载玻片等离子刻蚀机大多数活性粒子的能量超过生物质颗粒材料中常见化学键的键能，因此低温等离子体有足够的能量切断生物质颗粒材料中的化学键，与生物质颗粒基体发生聚合解聚反应。是一种很有前途的生物质颗粒精制技术。等离子体刻蚀机
