除上述工艺应用实例外，ICPplasma表面清洗器低温等离子清洗机可为客户提供工艺相关、连续控制、可靠、可重复的气体等离子处理系统。。一种中性、无污染的干式低温等离子体改性加工工艺:IC芯片配线方法铅键合产品的质量将直接影响元件的稳定性，微电子器件键合区域必须无污染，且铅键合性能好。污染物的存在，如
