近年来，ICPplasma刻蚀机随着等离子技术的成熟，常压气体放电逐渐取得进展，与低压气体放电相比，常压气体放电不需要复杂的真空系统，成本显着降低。当今实验室常用的大气压气体放电包括 GLOW DISCHARGE、DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE、CORONA DISCHAR
