目前，半导体蚀刻工艺的要求等离子体清洗的应用越来越广泛，国内外用户对等离子体清洗技术的要求也越来越高。好的产品还需要专业的技术支持和维护。”。真空等离子内联装置主要用于产品在低压真空条件下的表面等离子清洗。它是环保的，无污染的。清洗后将废气排出，产品质量高，效率快。真空等离子清洗设备配备了自动化生产
