这些高能电子与甲烷分子发生非弹性碰撞，FPC等离子体刻蚀机然后与许多活性物质产生活性自由基，进一步碰撞结合形成新物质。 DBD在放电过程中会产生大量的自由基和准分子OH、O、NO等，FPC等离子体刻蚀机因此它们的化学反应非常活跃，很容易与其他原子、分子或其他自由基发生反应，形成稳定的原子或分子。因此
