因此普通微波等离子体系统多作为一种对化学反应的催化手段应用在化工领域，镀锌钢喷粉为什么会附着力不好或应用于一些基础的材料处理领域，这些领域都对激发产生的等离子体密、度均匀度要求较低。而在大规模集成电路制造工艺、高质量材料表面改性处理等领域，对等离子体的密度、均匀度、稳定度都要求很高，普通微波等离子体
