二、电极间距和层数，进口等离子电浆机厂家以及对气路分布的要求等离子刻蚀机反應腔内电极间距、层数、气路分布等参数对晶圆加工均匀性有重要影响，这些指标需要不断试验优化。三、电极板的温度要求 等离子化清洗过程中，会产生一定的热量积累，在工艺需要时，必须保持电极板在一定的温度范围内，因此一般都会给等离子清洗
