直径大于0.5微米的颗粒去除比较彻底，BGA等离子体表面清洗小于这个尺寸的颗粒基本去除了50%左右。原始金额。等离子清洗装置的辐射光谱由连续光谱和叠加在其上的线性光谱组成，具有从紫外线到近红外线的宽光谱范围，但主要集中在可见光范围内。广谱辐射有助于增加基板表面上的粒子对等离子体辐射能的吸收。等离子体
