2).氩能在等离子体环境中产生氩离子,如何提高对氧化层的附着力通过在材料表面产生的自偏压溅射材料,消除吸附在表面的外来分子,有效去除表面的金属氧化物,在微电子工艺中,引线键合前的等离子体处理是这种工艺的典型产生桌子。等离子体处理器处理的键合焊盘表面去除金属氧化物和杂质,可以提高后续键合工艺的成品率和