随着气体变稀，3k电晕机分子间的距离以及分子或离子的自由运动距离也随之增大。长时间在电场作用下，碰撞形成电晕，产生辉光放电。辉光放电过程中气体压力、放电功率、气体成分、流量和材料类型对材料的腐蚀影响。水果影响很大。电晕产生的辉光放电是真空紫外，对腐蚀速率有非常积极的影响，气体中含有中性。粒子、离子和
