等离子清洗机大致由电源、匹配器、腔体、电磁阀、流量计、外接气体、真空泵和控制电路组成。发生故障报警时，丰泽定制等离子清洗机先查看屏幕报警提示的哪一部分出现报警，然后查看大致有问题的部分，再查看该部分的各个执行器是否有异常。控制电路的问题很直观，最简单的方法就是用万用表测试，检测是否有短路或闪烁开路，
