氟化气体可以与氧等离子体相反，青海等离子除胶清洗机原理经过低温等离子体处理后，氟化物可以在基材表面引入氟原子，使其附着。冷等离子器具在清洁表面氧化物时有效地使用纯氢，但主要考虑的是放电稳定性和安全性。氩氢相混合更适用于等离子表面处理机。同时，等离子表面处理机还可以反转o2和氩氢气的清洗顺序，达到全面
