当电子的能量达到一定水平时，电晕表面处理装置造价它们就具有解离中性气体原子的能力。产生高密度电晕的方法有很多。电晕在低温下能产生非平衡电子、反应离子和自由基。电晕中的高能活性基团轰击表面，会引起溅射、热蒸发或光降解。电晕的特殊清洗过程主要是基于电晕溅射和刻蚀引起的物理和化学变化。通常情况下，大庆电晕
