等离子清洗机蚀刻的应用和新型磁存储器的引入:磁随机存取存储器(MRAM)是一种以磁隧道结(MTJ)为核心部件的存储器。磁隧道结是铁磁层/隧道势垒层(金属氧化物，附着力小啥意思如MgO)/铁磁层的夹层结构。铁磁材料的一层称为参考层，其磁化方向是固定的，另一层称为自由层。磁化方向可以通过外部磁场或极化电
