氧等离子体的形成过程可以用以下六个反应来表示。 1) O2-O2 + E (1) 2) O2-2O (2) 3) O2 + E-O2 + E (3) 4) O2 + E -O2 + HV + E (4) 5) O2 + E- 2O + E (5) 6) O2 + EO + O + 2E (6) 首先