二、C4F等离子刻蚀机注意事项（1）四氟化碳气体虽然无毒不燃，防锈漆附着力差但浓度高时会引起窒息麻醉。因此，使用时应注意气路的密封，推荐使用防爆管道。（2）为了保证过程的稳定性，需要专门的流量控制器。（3）四氟化碳参与反应会产生氢氟酸，排放的废气为有害气体，需要处理后排放；（4）使用四氟化碳的等离子
