给气体施加足够的能量使其游离成等离子体状态。活性组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态核素(亚稳态)、光子等。等离子体清洗剂是利用这些活性组分的性质对样品表面进行处理，镀膜附着力5b是多少从而达到清洗、镀膜等目的山顶有两种主要的等离子体与材料表面之间的反应,一个是由自由基化学反应,另一种是由等
