在微电子封装中，附着力超强的颜料等离子处理机清洗工艺的选择取决于后续工艺对材料表面的要求、材料表面的原有特征、化学组成以及污染物的性质等。通常应用于等离子体清洗的气体有氩气、氧气、氢气、四氟化碳及其混合气体等。一般来讲，附着力超强的颜料的真空plasma表面处理设备所使用的真
