氧等离子体的形成过程可以用以下六种反应来表示:1)O2-O2+e(1)2)O2-2O(2)3)O2+e-O2+e(3)4)O2+e-O2+hv+e(4)5)O2+e-2O+e(5)6)O2+e-O+O+2e(6) 首先是氧气分子在获得外部能量后变成氧气阳离子，附着力用f什么表示然后释放自由电子的过程
