二、真空腔体及真空发生系统的保养：1、真空腔和电极板是处理工件的工作区，附着力问题点当使用到一定时间后腔体内会残留部分污垢，附着在电极板及腔体壁上。处理方法：当连续使用一个月后，应用无尘布（纸）沾酒精清洁所有电极板及腔体壁，保持腔体清洁。2、观察窗是工作人员在工作时对腔体内放电情况进行观察所用，在使
