典型的等离子化学清洗技术是氧等离子清洗。在此过程中中行成的氧自由基是极其活跃的，附着力促进剂不会挥发很容易与烃类发生反应，行成挥发性物质，如二氧化碳、一氧化碳和水等，从而去除表面的污染物。物理反应机理是活性粒子轰击被清理表面，附着力促进剂不会挥发使污染物从表面被清除，最后被真空泵吸走。化学反应机理是
