3.成本低:设备简单，高附着力环氧树脂操作维护方便，少量的气体代替昂贵的清洗液，无废液处理成本。等离子体表面处理技术可以实现对大多数固体物质的处理，因此具有广泛的应用前景。(3)等离子体表面处理技术随着电子信息产业的发展，特别是在通信产品、计算机及零部件、半导体、液晶及光电产品对超精密工业清洗设备和
