由于激发频率高，油漆在什么表面附着力最好离子动能小，化学等离子作用在微波等离子中占主要部分，可以实现更均匀有效地清洗，在清洗中没有物理等离子体所产生的物理冲击和溅射现象，在高可靠性要求的器件尤其是军用器件生产工艺过程中，微波等离子清洗机成为关键首选的设备。。* 清洗生物芯片、微流控芯片* 清洗ATR
