真空等离子清洗设备一般包括真空系统,电源系统,供气系统和清洗室,清洗室内安装有电极架,可以将射频电极,地极和悬置极按照一定的方式组合放置,以适应不同的清洗场合。清洗时先将器件装配好,参照它的清洗要求选择一种电极放置方式后放到清洗室中,抽真空至30pa左右,通入清洗气体后加射频电压后产生等离子体。影响
