机械部分清洗等离子清洗机芯片键合预处理离子清洗机功能： 1.等离子表面活化/清洗； 2.等离子处理后的键合； 3.等离子蚀刻/活化； 4.等离子脱胶 5. 等离子涂层（亲水、疏水）； 6.增强绑定； 7.等离子涂层； 8.等离子灰化和表面改性。等离子清洗机，山西等离子设备安装方法又称等离子清洗机、等
