3.蚀刻后处理一般来说，金属喷漆附着力差处理方法等离子清洗机的等离子干法蚀刻完成后，会引入酸性或碱性湿法清洗步骤，以彻底消除等离子蚀刻对晶片形成的副作用。 ..避免二次反应的产品。由于GST是一种金属合金，酸碱会造成严重的腐蚀，因此GST等离子蚀刻只能使用低浓度的酸（或碱）湿法清洁剂来去除GST蚀刻
