近年来,娄底市等离子体球化标准设备价格新材料开发领域特别关注等离子体源离子注入技术,这种材料表面加工技术克服了传统束线离子注入的缺点,在注入过程中不仅容易控制注入离子的能量和剂量,使得离子注入均匀性好,而且不需要转动样品台和离子束扫描设备就可以使离子在适当条件下垂直注入样品表面,减少了溅射损失,非常