材料表面的等离子体处理通常会诱导形成含氧官能团，玻璃烤漆附着力极性从而增加表面润湿性并改善粘附性，诱导形成的C=O、-C-O-、-COO-、-OH、-COOH等官能团中C=O的作用最显著。很小，增加氨基玻璃烤漆附着力在电场加速下，高能氢离子穿过门控氧化硅，注入到10nm深度的体硅中，造成体硅中的位错
