玻璃在化学上是惰性的，进入隧道附着力在环境的影响下是稳定的。通过常规的清洗和干燥，很难完全去除吸附在玻璃基板表面的异物。而且，由于地表在运输和处理过程中仍然暴露在大气中，因此不可避免地会吸收环境气体、水蒸气和微尘。如果不处理，会导致膜层与基板之间的粘结较弱，产生针孔和颗粒。玻璃材料经过低温等离子体处
