一般而言，南平真空等离子清洗的干式螺杆罗茨真空泵特点相似粒子之间发生碰撞的概率较大，能量传递有效，碰撞趋向于达到平衡状态，根据麦克斯韦分布，各自有各自的热力学平衡温度。离子-离子碰撞在称为离子温度的特定温度 Ti 达到热力学平衡，但由于电子和离子之间的质量差很大，也会发生碰撞，但可能不会达到平衡。
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