与等离子清洗相比，德国Sentech 集成多腔等离子刻蚀水清洗通常只是一种稀释过程。与二氧化碳清洗技术相比，等离子清洗不需要额外的材料。与砂洗相比，等离子清洗可以处理材料的完整表面结构以及表面的悬垂部分。它是一种环保的预处理工艺，可以在线集成，不需要额外的空间，运行成本低。说明等离子表面处理设备的作
