另一位与等离子清洗机等离子蚀刻相关的硅谷英雄是出生在中国南京的王耀庆博士。早年毕业于中国台湾中原大学化工系。1970年，南京表面活化处理他在犹他大学获得黄金管理工程硕士学位，随后在加州大学伯克利分校获得材料科学博士学位。1977年起在新泽西州贝尔实验室总部从事等离子体刻蚀和化学键合的研究。应时任应用
