可以沉积非金属涂层。电镀原料为SIOX、SIO2，电镀层没附着力怎么办啊或其他氧化物如AL2O3、MGO、Y2O3、TIO2、GD2O3，其中常用的是SIOX和ALOX。氧化物涂层的蒸发源有电阻式和电子束两种，电阻式蒸发源通过电阻器。加热原理用于加热原料进行蒸发，加热温度高可达1700℃。电子束沉积
