不需要蚀刻的部分要用相应的材料覆盖（如半导体工业用铬作为覆盖材料）4.表面接枝和聚合当电晕表面活化或电晕诱导聚合层产生的基团不能与材料表面牢固结合时，电晕电晕处理有机废气采用电晕接枝法加以改善。电晕接枝的原理是：首先通过表面活化在材料表面生成一个新的活性基团，利用这个基团与后续活性材料产生化学共价键
