在等离子体产生过程中，电子电路等离子体蚀刻高频放电产生的瞬时高能打开一些有害气体分子的化学键，使其分解成简单的原子或无害的分子。(2)等离子体中含有大量高能电子粒子，离子和激发态具有很强的氧化性自由基，活性粒子的平均能量高于气体分子的键能，它们经常与有害气体分子发生碰撞，打开气体分子键生成单原子分子
