二、等离子体蚀刻在等离子体蚀刻中，pp表面改性静电被蚀刻的物体通过处理气体(例如，当用氟气体蚀刻硅时，下图)而转变为气相。处理气和基材由真空泵抽提，表面依次覆盖新鲜处理气。被蚀刻的部分不能被材料覆盖(例如半导体工业中的铬)。等离子体法也被用来蚀刻塑料表面，氧气可以灰填充混合物得到一个分布轮廓。蚀刻作
