等离子清洗的机理主要是活性粒子的物理作用和化学作用，那么在清洗不同的材料时，选择正确的介质气体，可收到事半功倍的效果。材料，可以大致分为金属和非金属两种，其中金属清洗的目的是主要是去除表面氧化物和有机物，非金属清洗主要是去除表面有机污染物，根据反应机理，气体有两种分类，一种是反应性气体(化学作用)，
