给电子加能量，电子电路等离子刻蚀简单的Z方法是利用平行板电极已流过的电压，电子在电极上，会被带正电的电极吸引而加速，在加速过程中电子可以积累能量，当一个电子的能量达到一定程度时，有电离气体原子的能力，产生高密度等离子体的方法有很多种，这里我们简要介绍一些产生高密度等离子体的方法。。定期用泵上油，然后
