在等离子体反应体系中通入少量氧气，极耳等离子清洗仪在强电场的作用下，等离子体中产生氧气，光刻胶迅速氧化成挥发性气体。这种清洗技术操作方便、效率高、外观干净、无划痕，有利于保证产品在脱胶过程中的质量，而且不需要酸、碱或有机溶剂，越来越受到人们的重视。 Archwire 键合：在芯片键合到基板之前和高温
