在等离子刻蚀操作过程中，氯化橡胶树脂的附着力高频电源产生的热运动使带负电荷的自由电子质量小，运动速度快，迅速到达阴极，但正离子较大，不易逸出.它与质量和低速同时到达阴极，并在阴极附近形成带负电的鞘层。通过加速这个鞘，正离子直接与硅片表面碰撞，然后促进表面的化学反应，将反应产物分离，因此蚀刻速度非常快
