广东芳如达科技有限公司 2022-12-22 19:19:22 112 阅读
在等离子刻蚀操作过程中,氯化橡胶树脂的附着力高频电源产生的热运动使带负电荷的自由电子质量小,运动速度快,迅速到达阴极,但正离子较大,不易逸出.它与质量和低速同时到达阴极,并在阴极附近形成带负电的鞘层。通过加速这个鞘,正离子直接与硅片表面碰撞,然后促进表面的化学反应,将反应产物分离,因此蚀刻速度非常快,离子的影响也不同。可以实现定向刻蚀。
基于化学反应的等离子体清洗的优点是清洗速度快、选择性好、能有效去除有机污染物,氯化橡胶附着力促进缺点是表面会产生氧化物。与物理反应相比,化学反应的缺点不易克服。并且两种反应机理对表面形貌的影响显著不同,物理反应可以使表面在分子范围内变得更多“粗糙”从而改变表面的粘附特性。还有有一种物理反应和化学反应在表面反应机理中起重要作用的等离子体清洗机。即反应离子腐蚀或反应离子束腐蚀,两种清洗可以相互促进。
简单来说,氯化橡胶附着力促进自动清洗台同时清洗多片晶圆,优点是设备成熟,生产率高,而单片晶圆清洗设备逐片清洗,优点是清洗精度高,可有效清洗背面、斜面和边缘,避免晶圆间交叉污染。45nm之前,自动清洁台可满足清洁要求,目前仍在使用;而45以下的工艺节点则依赖于单片晶圆清洗设备来满足清洗精度要求。在未来工艺节点减少的情况下,单片晶圆清洗设备是目前可预测技术下清洗设备的主流。工艺节点降低了挤出成品率,促进了对清洗设备的需求。
适用于研究高密度等离子体的平衡、宏观稳定性等宏观特性,氯化橡胶树脂的附着力也适用于研究低温等离子体的涨落。但是,由于它没有考虑粒子速度的空间分布函数,因此无法揭示波粒子相互作用和微观不稳定性等一系列细节中的重要性质。由于等离子体的性质,它是一个包含大量带电粒子的多粒子系统,所以精确的处理方法是统计方法。也就是说,可以得到粒子分布函数随时间的演化过程。这个理论就是等离子体动力学,也被称为等离子体的微观理论。
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二、电子和工件表面在低温等离子体清洗中的效用由于电子与工件表面发生碰撞,吸附在表面的气体分子会被分解解吸,电子的大量碰撞有利于化学反应。由于电子的质量很小,它们的运动速度比离子快得多。在等离子体处理过程中,电子比离子更早到达工件表面,使表面产生负电荷,有利于引起进一步反应。
与溶剂清洗不同,等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从清洗效果来说,等离子体清洗是所有清洗工艺中最为彻底的剥离式的清洗。这个不会,是从理论上来说的,等离子清洗是利用气体作为清洗介质通过高压电场将气体电离,来对材料表面进行清洗,通过外观观察与未进行等离子清洗的产品之间外观进行比较,并未无可分辨的差异。
物质可以从一种能量状态转换为另一种能量状态(例如热)。当气态物质被加热到更高的温度或气体暴露在高能量下时,气态变为第四态,等离子体。一些气体原子分解成电子和离子,而另一些则吸收能量成为半稳定原子并具有化学活性。在这种状态下,不仅有具有特定能量的中性原子和分子,而且还有相当数量的带电粒子和具有化学活性的半稳态原子和分子。电离自由电子的总负和等于阳离子的正电荷。这种高度电离的宏观中性气体被称为等离子体。
2)将等离子体清洗用气体引入真空室内,保持室内压力稳定。根据清洗材料的不同,可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)在真空室内电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,通过辉光放电产生等离子体,使真空室内产生的等离子体完全覆盖待处理工件,开始清洗作业,清洗处理一般持续几十秒至几十分钟4)清洗后切断电源,通过真空泵将气体和气化的污物泵出。
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