与使用有机溶剂的传统湿法清洗相比，真空等离子清洗分子泵组原理等离子清洗具有以下优点： 1、等离子清洗后，待清洗物体干燥，无需进一步干燥即可送至下道工序。可以提高整个工艺线的加工效率。 2.无线电范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子的方向不强，深入到细孔和凹入物体的内部完成清洗操作，所
