0.0687A/mm=68.7MA/mm，广东氧等离子体清洗机样品B在VGS=2V、VDS=10V时附加饱和电流为0.0747A/mm=74.7MA/mm。结果表明，氧等离子体处理后的器件表面没有受到损伤，但增加了器件的饱和电流。等离子体处理后的样品高于处理前的样品。这表明氧等离子体处理后器件的长跨
