这种离子的高专一性，重涂附着力解决其能量足以破坏几乎任何化学键，造成任何接触不同的混合气体等离子体的表面层发生化学变化，具有不同的有机化学性能指标，如o2等离子体具有高氧化性，可以反映混合气体的形成，空气氧化抗光刻胶和成品清洁效果。腐蚀性刺激性气体混合物的等离子体具有良好的各向异性，可用于腐蚀。利用
